International Summer School on Nanofabrication and Electron Microscopy Characterization

• 9:00 h. Registration
  
• 9:30 h. Course Overview: Introduction, Objectives and Perspectives of this Summer School
  José María De Teresa Nogueras (Instituto de Nanociencia y Materiales de Aragón (INMA) - Universidad de Zaragoza - CSIC)
  Pilar Cea Mingueza (Dpto. de Química Física - Universidad de Zaragoza, Laboratorio de Microscopías Avanzadas (LMA), INMA)
• 10:00 h. Nanofabrication using focused electron and ion beams
  Soraya Sangiao Barral (Dpto. de Física de la materia condensada - Universidad de Zaragoza, LMA, INMA)
• 12:00 h. Round Table (Chips, Challenges in Nanofabrication, Alternative Methodologies, Quantum Chips).
  Juan José García Ripoll (Institute of Fundamental Physics - CSIC)
  Francesc Pérez-Murano (Instituto de Microelectrónica de Barcelona - CNM - CSIC)
  José María De Teresa Nogueras (INMA - Universidad de Zaragoza - CSIC)
• 16:30 h. Advanced Scanning Probe Lithography
  Ricardo García García (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid - CSIC)

• 10:00 h. Optical lithography at the nanoscale and beyond
  Francesc Pérez-Murano (Instituto de Microelectrónica de Barcelona - CNM - CSIC)
• 12:00 h. Round Table on Knowledge Transfer in Nanofabrication and Materials Science
  Alejandra Jacobo Martín (Cooling Photonics)
  María José Tomás Sánchez (Dirección de Programas de la UE y Cooperación Territorial del Centro para el Desarrollo Tecnológico Industrial (CDTI))
  José María De Teresa Nogueras (INMA - Universidad de Zaragoza - CSIC)
• 16:30 h. Nanoimprinting: Basics and applications in photonics
  Alejandra Jacobo Martín (Cooling Photonics)

• 10:00 h. Scanning Tunneling Microscopy: A versatile tool for visualization, manipulation and measurement of properties at the atomic and molecular scale
  David Serrate Donoso (INMA - Universidad de Zaragoza - CSIC)
• 12:00 h. Round Table: Large and Singular Infrastructures in Spain and Europe: Where we are, synergies, opportunities and future perspectives
  Klauss Attenkofer (ALBA Synchrotron)
  Pilar Cea Mingueza (Dpto. de Química Física - Universidad de Zaragoza, LMA, INMA)
  Ángela Fernández Curto (Ministerio de Ciencia, Innovación y Universidades)
  Carlos Peña Garay (Laboratorio Subterráneo de Canfranc)
  David Quirion (Instituto de Microelectrónica de Barcelona - CNM - CSIC)

• 09:30 h. A journey through the fundamentals of transmission electron microscopy and back to the future
  Francesca Peiró Martínez (Dpto. de Ingeniería Electrónica y Biomédica - Universidad de Barcelona)
• 12:00 h. Spectroscopies in TEM (EDX, EELS) and tomography
  Raúl Arenal de la Concha(ARAID, Universidad de Zaragoza, LMA, INMA)
• 16:30 h. Cryo-electron microscopy for the visualization of biological material at high resolution
  Javier García Nafría (Dpto. de Bioquímica y Biología Molecular y Celular - Universidad de Zaragoza, BIFI)

• 10:00 h. Round Table: Unrevealing how to match the material and the right technique(s) for its characterization
  Pilar Cea Mingueza (Dpto. de Química Física - Universidad de Zaragoza, LMA, INMA)
  Raúl Arenal de la Concha(ARAID, Universidad de Zaragoza, LMA, INMA)
  David Serrate Donoso (INMA - Universidad de Zaragoza - CSIC)
  Francesca Peiró Martínez (Dpto. de Ingeniería Electrónica y Biomédica - Universidad de Barcelona)
  Javier García Nafría (Dpto. de Bioquímica y Biología Molecular y Celular - Universidad de Zaragoza, BIFI)
  José María De Teresa Nogueras (INMA - Universidad de Zaragoza - CSIC)
• 12:00 h. Exam.
  Pilar Cea Mingueza (Dpto. de Química Física - Universidad de Zaragoza, LMA, INMA)
  José María De Teresa Nogueras (INMA - Universidad de Zaragoza - CSIC)

Nanolito 2021: Summer School in Basics and Applications of Nanolithography

• 9:30 - 10:45 h. Título: Opening words and Introduction to Nanofabrication Techniques
  José María De Teresa Nogueras (INMA - University of Zaragoza - CSIC)
• 10:45 - 11:15 h. Student's power-slide. 1 slide introducing your research project
  
• 11:15 - 11:45 h. Coffe break and poster session.
  
• 11:45 - 13:30 h. Título: E-beam lithography and cryo-etching for the definition of sharp edges in 2D-materials.
  Vito Clericò (University of Salamanca)
• 13:30 - 16:00 h. Lunch and free time
  
• 16:00 - 17:45 h. Título: Lithography applied to high-temperature superconductors.
  Anna Palau (ICMAB - CSIC)
• 17:45 - 18:15 h. Coffe break and poster session.
  
• 18:15 - 20:00 h. Título: Magic angle bilayer graphene: Superconductors, orbital magnets, correlated states and beyond.
  Dmitri K. Efetov (ICFO)

• 9:30 - 11:15 h. Título: Functional soft-nanoimprinted surfaces
  Isabel Rodríguez (IMDEA Nanociencia)
• 11:15 - 11:45 h. Coffe break and poster session.
  
• 11:45 - 13:30 h. Field effect transistor biosensors: Optimisation of the influence of size and geometry and fabrication methdos.
  César Pascual García (LIST)
• 13:30 - 16:00 h. Lunch and free time
  
• 16:00 - 17:45 h. Título: Helium ion imaging and patterning.
  Gregor Hlawacek (Helmholtz - Zentrum Dresden - Rossendorf)
• 17:45 - 18:15 h. Coffe break and poster session.
  
• 18:15 - 20:00 h. Título: Thermal scanning probe lithography.
  Edoardo Albisetti (Politecnico di Milano)

• 9:30 - 11:15 h. Título: 3D fabrication via two-photon lithography direct laser writing.
  Ryan Cecil Ng (ICN2)
• 11:15 - 11:45 h. Coffe break and poster session.
  
• 11:45 - 13:30 h. Microfabrication process of magnetic sensors based on magnetic tunnel junctions.
  Elvira Paz (International Iberian Nanotechnology Laboratory)

16-18 de Julio de 2018: Summer School in Basics and Applications of Nanolithography

• 9:00 - 11:00 h. Title: Opening words and Introduction to Nanofabrication Techniques
  Speakers: Soraya Sangiao Barral (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, Spain) y José María De Teresa Nogueras (Instituto de Ciencia de Materiales de Aragón - Universidad de Zaragoza - CSIC, Zaragoza, Spain)
• 11:30 - 13:30 h. Title: Practical examples and new developments in Electron Beam Lithography
  Speaker: David López (ISOM y CRESTEC, Madrid, Spain)
• 13:30 - 16:00 h. Lunch and free time
  
• 16:00 - 18:00 h. Title: Organic ice resists
  Speaker: Anpan Han (Technical University of Denmark (DTU), Copenhagen, Denmark)
• 18:00 - 20:00 h. Title: Optical metrology in Nanofabrication
  Speaker: Guy Whitworth (Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2), Barcelona, Spain)

• 9:00 - 11:00 h. Title: Nanolithography with an Atomic Force Microscope
  Speaker: Ricardo García (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) - CSIC, Madrid, Spain)
• 11:30 - 13:30 h. Title: Nanodevices based on 2D materials
  Speaker: Luis Hueso (CIC-nanoGUNE, San Sebastián, Spain)
• 13:30 - 16:00 h. Lunch and free time
  
• 16:00 - 18:00 h. Title: Focused Ion Beam applied to Nano-superconductivity
  Speaker: Rosa Córdoba Castillo (Instituto de Ciencia de Materiales de Aragón - Universidad de Zaragoza - CSIC, Zaragoza, Spain)
• 18:00 - 20:00 h. Title: Nano-engineered (multi)functional surfaces
  Speaker: Isabel Rodríguez (IMDEA-Nanociencia, Madrid, Spain)

• 9:00 - 11:00 h. Title: Nanodevices combining several lithography techniques
  Speaker: Francesc Pérez-Murano (Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM) - CSIC, Barcelona, Spain)
• 11:30 - 13:30 h. Title: Patterning of quantum materials
  Speaker: Toni Helm (Max Planck Institute, Dresden, Germany)
• 13:30 h. Test, lunch and end of the school
  

18^th-22^nd July 2016: International Summer School on Nanofabrication and Transmission Electron Microscopy.

• 9,00 h. Title: Overview of the main nanolithography techniques
  Speaker: Soraya Sangiao Barral (U. Zaragoza, Zaragoza, Spain)
• 10,45 h. Title: Electron Beam Lithography and its application in Spintronics
  Speaker: Fèlix Casanova Fernàndez (CIC nanoGUNE, San Sebastián, Spain)
• 12,30 h. Title: Fabrication of nanodevices
  Speaker: Francesc Pérez-Murano (Instituto de Microelectrónica de Barcelona - CSIC, Barcelona, Spain)

• 9,00 h. Title: Focused Electron Beam Induced Deposition technique: basics and applications
  Speaker: Harald Plank (Graz University of Technology, Graz, Austria)
• 10,45 h. Title: AFM - based nanolithography techniques
  Speaker: Ricardo García García (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid - CSIC, Madrid, Spain)
• 12,30 h. Title: Workshop on practical examples in nanolithography
  Speaker: José María De Teresa Nogueras (Instituto de Ciencia de Materiales de Aragón - Universidad de Zaragoza - CSIC, Zaragoza, Spain)

• 9,00 h. Title: Principles of Transmission Electron Microscopy
  Speaker: César Magén (ARAID - Instituto de Nanociencia de Aragón, Zaragoza, Spain)
• 10,00 h. Title: Introduction to Diffraction and use of spatially resolved Precession Electron Diffraction data to analyze structural deformation in individual nanostructures
  Speaker: Daniel Mario Ugarte (Univ. Estadual Campinas, Sao Paulo, Brazil)
• 12,00 h. Title: HRTEM
  Speaker: María Luisa Ruiz González (Universidad Complutense de Madrid, Madrid, Spain)
• 13,00 h. Title: STEM
  Speaker: César Magén (ARAID - Instituto de Nanociencia de Aragón, Zaragoza, Spain)
• 16,00 h. Title: Nanofabrication using microfluidics
  Speaker: Víctor Sebastián Cabeza (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, Spain)
• 17,00 h. Title: Nanowires for fotocatalytic conversion
  Speaker: Lun Yeung King (Hong Kong University of Science and Technology, Clear Water Bay, Hong Kong)
• 18,00 h. Title: Iron based organometallic nanoparticles: physical and catalytic properties
  Speaker: Bruno Chaudret (INSA - CNRS - UPS, Toulouse, France)
• 19,00 h. Title: Functional nanostructures
  Speaker: Manuel Ricardo Ibarra García (Instituto de Nanociencia de Aragón - Universidad de Zaragoza, Zaragoza, Spain)
• 20,00 h. Title: Round Table: Nanofabrication and nanocharacterization
  Speaker: Victor Sebastián, Lung Yeung King, Bruno Chaudret y Ricardo Ibarra.

• 9,00 h. Title: EELS - EDX
  Speaker: María Varela del Arco (Universidad Complutense de Madrid, Madrid, Spain)
• 10,00 h. Title: Characterization of Advanced Materials using atomic resolution EELS
  Speaker: Almudena Torres Pardo (Universidad Complutense de Madrid, Madrid, Spain)
• 11,00 h. Title: STEM - EELS in oxides
  Speaker: María Varela del Arco (Universidad Complutense de Madrid, Madrid, Spain)
• 12,00 h. Title: Non-planar nanostructures under the electron beam: down to single atom detection
  Speaker: Jordi Arbiol (Institut Català de Nanociencia i Nanotecnologia - CSIC, Barcelona, Spain)
• 13,00 h. Title: Workshop (I) on practical examples in TEM
  Speaker: César Magén (ARAID - Instituto de Nanociencia de Aragón, Zaragoza, Spain)

• 9,00 h. Title: Tomography
  Speaker: Raúl Arenal (ARAID - Instituto de Nanociencia de Aragón, Zaragoza, Spain)
• 10,00 h. Title: Holography
  Speaker: Etienne Snoeck(CEMES - CNRS, Toulouse, France)
• 11,00 h. Title: Structural and local spectroscopic TEM studies on (Bio-)Nanomaterials
  Speaker: Raúl Arenal (ARAID - Instituto de Nanociencia de Aragón, Zaragoza, Spain)
• 12,00 h. Title: Workshop (II) on practical examples in TEM
  Speaker: Raúl Arenal (ARAID - Instituto de Nanociencia de Aragón, Zaragoza, Spain)
• 13,00 h. Title: Exam on Nanofabrication and TEM
  
• 14,00 h. Title: Closure session
  Speakers: Pilar Cea and José María De Teresa

Jaca (Huesca), 15^th-17^th July 2013.

• 15^th July 2013

• 9,00 h. Title: Nanotechnology today: where we are and challenges
  Speaker: Ricardo Ibarra (U. Zaragoza, Spain)
• 10,30 h. Title: Clean-room processing
  Speaker: Pierre Calmon (LAAS, France)
• 12,30 h. Title: Nanofabrication processes
  Speaker: Xavier Borrisé (CNM, Spain)
• 16,30 h. Title: Large-area ordered nanostructures by directed self-assembly
  Speaker: Claudia Simao (ICN, Spain)
• 18,00 h. Title: Electron Beam Lithography and their applications
  Speaker: José Luis Prieto(ISOM-UPM, Spain)

• 16^th July 2013

• 9,00 h. Title: Nanolithography using Atomic Force Microscopy
  Speaker: Ricardo García (ICMM, Spain)
• 10,30 h. Title: Advanced top-down lithography processing
  Speaker: Laurent Pain (CEA-LETI, France)
• 12,30 h. Title: Nanowires: synthesis and applications
  Speaker: Joao Ventura (U. Porto, Portugal)
• 16,30 h. Title: Magnetic Storage: past and future
  Speaker: Andreas Berger (Nanogune, Spain)
• 18,00 h. Workshop“How to create a spin-off company: a few examples. Round table.”
  Coordinators:José María De Teresa (ICMA, Spain) and Francesc Pérez-Murano (CNM, Spain)

• 17^th July 2013

• 9,00 h. Title: Nanobiosensors based on optical platforms
  Speaker: Borja Sepúlveda (CIN2, Spain)
• 10,30 h. Title: Magnetic biosensors
  Speaker: Paulo Freitas (INESC and INL, Portugal)
• 12,30 h. Title: Novel developments in the research of thermoelectric materials
  Speaker: Francisco Rivadulla (U. Santiago de Compostela, Spain)
• 16,30 h. Title: Nanofabrication approaches in superconductivity for energy applications
  Speaker: Anna Palau (ICMAB, Spain)
• 18,00 h. Workshop“Use of nanofabrication techniques for real examples in Nanotechnology”
  Coordinators:José María De Teresa (ICMA, Spain) and Francesc Pérez-Murano (CNM, Spain)

Jaca (Huesca), del 6 al 8 de julio de 2011.

• Contenidos del curso:
  
  Miércoles, 6 de Julio
  08:45 h. Presentación del curso (1) (2)
  09:00 h. Litografía óptica. Etching (3) [PDF] [Info resinas]
  10:30 h. Otras litografías con fotones (laser, interferometría, DUV, rayos X,…) (4) [PDF]
  12:30 h. Litografía electrónica (5) [PDF]
  16:30 h. Aplicaciones de litografía en estudios de superconductividad (6) [PDF]
  18:00 h. Aplicaciones de litografía en estudios de nanomagnetismo (4) [PDF]
  
  Jueves, 7 de Julio
  09:00 h. Litografía de haz de iones focalizado (7) [PDF]
  10:30 h. Aplicaciones de litografía en sensores y biosensores (3) [PDF(1)] [PDF(2)]
  12:30 h. Aplicaciones de litografía en dispositivos magnetorresistivos y nanohilos magnéticos (5)[PDF]
  16:30 h. Aplicaciones de litografía en estudios de electrónica molecular (8) [PDF]
  18:00 h. Litografía con microscopios de sonda local (I) (9) [PDF]
  
  Viernes, 8 de Julio
  09:00 h. Litografía con microscopios de sonda local (II) (9) [PDF(1)] [PDF(2)]
  10:30 h. Nanodepósitos inducidos por haz de electrones e iones focalizados. (7) [PDF]
  12:30 h. Técnicas de nanoimpresión (10) [PDF]
  16:30 h. Aplicaciones de la litografía por nanoimpresión (I) (10) [PDF]]
  18:00 h. Aplicaciones de la litografía por nanoimpresión (II) (11) [PDF]
  
  
• Ponentes:
  
  1. José María de Teresa Nogueras (ICMA (Fac. Ciencias))
  2. Manuel Ricardo Ibarra García (Instituto de Nanociencia de Aragón. Universidad de Zaragoza.)
  3. Francesc Pérez-Murano (Instituto de Microelectrónica de Barcelona)
  4. José Ignacio Martín (Universidad de Oviedo)
  5. José Luis Prieto Martín (Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología, Universidad Politécnica de Madrid)
  6. José Luis Vicent López (Universidad Complutense de Madrid)
  7. Albert Romano Rodríguez (Universitat de Barcelona)
  8. Luis Eduardo Hueso Arroyo (CIC nanoGUNE )
  9. Ricardo García García (Instituto de Microelectrónica de Madrid)
  10. Nikos Kehagias (Instituto Catalan de Nanotecnologia)
  11. Santos Merino Álvarez (Fundación Tekniker-IK4)
  
• Directores:
  
  D. José María De Teresa Nogueras, Profesor de Investigación del CSIC y Dr. D. Manuel Ricardo Ibarra García, Catedrático de la Universidad de Zaragoza
• Interés académico y social del Curso:
  
  El curso tiene un gran interés académico para aquellos estudiantes que vayan a realizar una tesis doctoral o una investigación en el ámbito de la nanotecnología, pues van a obtener una visión general de las técnicas de nanolitografía, que son las que les van a permitir fabricar nanodispositivos reales. En el presente curso de verano, el estudiante podría tener una visión global, detallada e impartida por los expertos nacionales en esta temática. Además, el ambiente interdisciplinar que tiene el curso va a ser muy formativo para el alumno, quien podrá relacionarse con otros alumnos de otras disciplinas, aprendiendo otro lenguaje y otras técnicas. Desde un punto de vista social, el curso va a permitir de nuevo situar a la Universidad de Zaragoza en el foco de atención nacional de la Nanotecnología, reuniendo a los investigadores españoles más activos en este campo de trabajo. Los estudiantes de la Universidad de Zaragoza y de sus centros de investigación (tales como el INA y el ICMA) van a poder tener un contacto directo con estos investigadores y otros alumnos españoles del ámbito de la Nanotecnología.
• Objetivos del curso:
  
  Este curso tiene como primer objetivo que los estudiantes conozcan las técnicas disponibles en nanolitografía para la fabricación de nanodipositivos y puedan aplicarlas en su temática de trabajo. El segundo objetivo es fomentar una aproximación interdisciplinar a la resolución de los retos tecnológicos que supone realizar un nanodispositivo, especialmente en el caso de los biosensores. En tercer lugar, se pretende que el alumno pueda conocer de primera mano a los especialistas nacionales en el campo de los nanodispositivos así como a otros estudiantes de esta temática, fomentándose de este modo las futuras colaboraciones y las apuestas multidisciplinares en el campo de la Nanotecnología.
• Destinatarios:
  
  Estudiantes recién licenciados o en el último año de carrera de Físicas, Químicas, Ingenierías. Estudiantes de tesis doctoral y postdoctorales con temáticas relacionadas con la Nanotecnología. Investigadores del ámbito de la Nanotecnología. La formación exigible es alumnos de carreras científico-técnicas a partir del último año de carrera.